威而信仪器描述:
评定参数:
Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2
直线度精度:0.4μm
分辨率(Z轴):0.001μm
采样数/分解能:9600点/16bit
滤波器:高斯(Gaussian)滤波器(ISO11562:1996),2RC滤波器
取样长度:λc ╳3、4、5、6、7(1.0-17.5mm)
截止波长:0.25,0.8,2.5
测量速度:0.1mm/s,0.32mm/s,0.5mm/s
返回速度:(自动) 1mm/s 示值误差:±5%
示值稳定性:3% 测量重复性:3%
图形放大倍率: 10-500000自动调整
传感器: 针尖 R=2μm钻石(测量力1mN) R=5μm钻石(测量力4mN